高純氣體集中供氣系統(tǒng)天津?qū)I(yè)設(shè)計(jì)

高純氣體集中供氣系統(tǒng)天津?qū)I(yè)設(shè)計(jì)

一、氣瓶間布局

　　1．由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃?xì)怏w，按國(guó)家規(guī)定必須分庫(kù)存放。分別放入不同的氣瓶間內(nèi)。

　　2．氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板，其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。

　　3．壓力調(diào)節(jié)器入口前需加裝燒結(jié)金屬過(guò)濾器以防止顆粒等雜質(zhì)污染系統(tǒng)。

　　4．所有面板均配備吹掃閥，可實(shí)現(xiàn)對(duì)面板的清洗置換。

　　5．壓力調(diào)節(jié)器及相關(guān)管件均需牢固的固定在壓力調(diào)節(jié)面板上，面板應(yīng)設(shè)計(jì)的緊湊而合理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。

　　6．壓力調(diào)節(jié)面板應(yīng)采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全性。

　　7．氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅(jiān)固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成。

　　8．氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與壓力調(diào)節(jié)器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無(wú)滲透。高壓軟管為柔性軟管，以保證連接的方便性。并自導(dǎo)防護(hù)鋼纜，預(yù)防情況下，鋼瓶閥損壞等現(xiàn)象帶來(lái)的高壓“抽鞭"事故。壓力調(diào)節(jié)器與管道的連接方式為雙環(huán)卡套。

　　9．高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。

　　10．排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點(diǎn)。

　　二、終端布局

　　1．系統(tǒng)設(shè)置為二次減壓系統(tǒng)。終端采用壁掛式設(shè)計(jì)。上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)器、輸出壓力指示計(jì)、緊急切斷閥，同一氣路的呈上下對(duì)應(yīng)排布，方便操作。面板為不銹鋼產(chǎn)品，具體位置參見(jiàn)圖紙，具體配置情況如下：壁掛式終端標(biāo)準(zhǔn)型26套注：該終端可以實(shí)現(xiàn)在室內(nèi)對(duì)設(shè)備的壓力調(diào)節(jié)、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開關(guān)控制，省去了每日往返于氣瓶間和實(shí)驗(yàn)間的奔波，提高了辦事效率。

　　2．控制終端上的氣體出口尺寸要與分析儀的氣體入口尺寸相對(duì)應(yīng)。氣體出口接頭還應(yīng)方便安裝。

　　三、氣路的布線

　　1．氣瓶間內(nèi)壓力調(diào)節(jié)面板與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的氣路終端之間選用SS316LBA管進(jìn)行連接，管道內(nèi)表面光潔度為Ra<>管道。

　　2．4N氮?dú)庵鞴芫€采用OD3/8"（6.35mm）的管道，0.5Mpa壓力下流量可達(dá)8M3/小時(shí)，*常規(guī)用氣需求，支線采用OD1/4"（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來(lái)對(duì)設(shè)備進(jìn)行供氣。

　　3．5N氮?dú)狻⒑狻㈩A(yù)留氣主管線采用OD1/4"（6.35mm）的管道，支線采用OD1/4"（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來(lái)對(duì)設(shè)備進(jìn)行供氣。

　　4．管道穿過(guò)障礙物時(shí)須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

　　5．管道之間采用的美國(guó)全自動(dòng)定位軌道式氬弧焊機(jī)進(jìn)行內(nèi)外保護(hù)氬弧焊（TIG）方式連接，其優(yōu)點(diǎn)是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會(huì)再內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

　　6．管路上的三通全部采用焊接三通來(lái)實(shí)現(xiàn)連接，可更有效保證氣體的傳輸質(zhì)量。

　　7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu)美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。

　　8．氣體管路在鋪設(shè)過(guò)程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應(yīng)設(shè)置一組管卡。卡具應(yīng)由不燃材料制作而成，美觀大方。

　　9．應(yīng)盡量減少?gòu)澢苑乐贡粋鬏數(shù)臍怏w壓力、流量損失過(guò)大。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)有安全加固，設(shè)計(jì)合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質(zhì)量由專用工具保證。系統(tǒng)布線應(yīng)盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

　　10．配管時(shí)的每根管道每個(gè)管件均要用高壓的5N高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃才能接入系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)安裝完畢后還要用5N的高純氮進(jìn)行大流量氣體吹掃，以確保系統(tǒng)的潔凈度即流出的氣體無(wú)油脂及明顯的固體顆粒物流出。

　　11．系統(tǒng)安裝完畢后要用高純氮?dú)膺M(jìn)行高壓部分、低壓部分氣密性實(shí)驗(yàn)，對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。

　　12．壓力調(diào)節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號(hào)、氣體種類、濃度等標(biāo)識(shí)。　　                                                         　高純氣體集中供氣系統(tǒng)天津?qū)I(yè)設(shè)計(jì)